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先需要检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，需要认真研究确定之。
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的真空度，因为系统的真空度决定了系统的佳工作真空度。一般来讲，系统的真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的真空度低50%。
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时需要考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。z
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